一种铁电隧道结室温红外探测器的制作方法技术资料下载

技术编号:7140871

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本专利涉及一种非制冷红外探测器技术,具体指一种铁电隧道结室温红外探测器。背景技术红外探测技术是对红外辐射感知输出的技术, 可广泛应用于国防、航天、医学、生产监控等众多领域。基于铁电材料的热释电红外探测器在上世纪90年代就已经商业化。但在近10年,铁电红外焦平面探测器受到基于氧化钒材料的微测辐射热红外焦平面探测器的严峻挑战一是铁电探测器最小灵敏元只能做到50微米,而氧化钒、非晶硅等微测辐射热计灵敏元目前已经做到15微米,这就使得后者的焦平面分辨率大大优于前者...
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