半导体装片设备的顶针、芯片、吸嘴三点一线检测方法技术资料下载

技术编号:7142000

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本发明涉及一种。背景技术目前,是在芯片的蓝膜空白处贴上一段白色生料带,再将装片机的识别灯光调节至能在显示器上明显看出白色生料带,将吸头移至吸片位置,将吸头往下压一压,使之在蓝膜上的生料带上留下吸嘴印记,然后从显示器上观察吸嘴印中心是否处于芯片的中心;将顶针顶起,从显示器上观察生料上的顶针孔是否与芯片十字中心重合。采用此种检测方法,操作繁琐,且需要用到白色生料带,每台设备完成整个检查过程时间较长,最少要5分钟,并且要重新调节设备灯光参数,并只能由设备维修人员...
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