双台阶台面型二极管芯片的制作方法技术资料下载

技术编号:7142259

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本实用新型涉及一种半导体器件,特别是一种双台阶台面型二极管芯片。背景技术台面型二极管是二极管的一种,因为在制作过程中,只保留PN结及其必要的部分,腐蚀掉不必要的部分,其剩余的部分便呈现出台面形,因而得名。现有的玻璃钝化台面型二极管芯片主要有两种结构,一种是单沟道台面结构,如图1所示,该种结构相邻两芯片间有一槽型沟道1-1,沟道的侧壁以及底部设有玻璃钝化层1-2;另一种是双沟道台面结构,如图2所示,该种结构相邻两芯片间有两槽型沟道2-1,两槽型沟道2-1间有...
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