技术编号:7145529
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于电路系统中的微型器件。背景技术 书名为“Introduction to Microelectromechanical Microwave Systems”一书(Artech House出版社出版)的第122页中曾描述了一种著名的传统技术。下面将参照图1和2来描述其细节。图1是一开关的剖面图,该开关具有由膜片构成的膜片结构。如图2所示,当中断信号时,施加一静电力使薄膜与电极接触,而在信号导通时则不施加静电力。但是,在传统器件中,由于开关被短...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。