技术编号:7145622
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体集成电路制造领域,特别是涉及后道装备引线键合机的核心部件XY工作台的结构设计。背景技术引线键合设备的根本在于通过劈刀引导金属引线在三维空间中作复杂高速的运动以形成各种满足不同封装形式需要的特殊线弧形状。X,Y,Z三个方向上协调运动的精度和速度,是保证键合设备焊线精度、可靠性、一致性和效率的关键。 传统的键合机XY工作台的X向直线电机安装在绑定头的左侧,绑头下面还需要基座来支撑X向直线电机基座,Y向直线电机基座和键合头,这样将导致整个XY工作...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。