技术编号:7145639
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及液晶制作,特别是涉及一种。背景技术薄膜晶体管(TFT,Thin Film Transistor)是阵列基板的重要元件之一,薄膜晶体管技术是液晶显示技术的核心,对液晶显示器的质量有着重大的影响。在薄膜晶体管的制作工艺中,一般经过清洗、成膜、光刻、检查修复等过程,其核心工艺是光刻,主要有涂光刻胶、曝光、显影、蚀刻、剥离等环节。在基底上制作薄膜晶体管的金属走线时,由于铜的电阻率较小,更适合用于制作大尺寸液晶显示装置的金属线电路,因此一般采用铜材料制作薄...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。