技术编号:7146606
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体LED芯片,涉及发光二极管芯片制造工艺,特指发光二极管芯片及其制作工艺。背景技术由于超高亮度GaN蓝宝石LED的波长范围在38纳米至540纳米之间,用途广泛,包括室内外的彩色显示、交通信号指示、IXD背照明光源以及白色照明光源等,但在其生产规模迅速扩大、成本不断降低的过程中,GaN/蓝宝石LED芯片切割崩裂一直是需要解决的技术难题之一。这是因为GaN/蓝宝石比一般的GaAs,GaP等化合物半导体材料要坚硬的多, 用砂轮刀具切割(dicing...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。