波导、包含波导的转接板型基板、模块和电子装置的制作方法技术资料下载

技术编号:7147076

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本发明涉及在传输线之间传送信号的波导,还涉及包含该波导的转接板型基板(interposer substrate)、模块和电子装置。背景技术作为在将具有微小焊盘节距的大规模集成(Large Scale IntegrationLSI)芯片安装到具有宽节距的安装基板上时要使用的技术,利用被称为转接板的中继板(relayboard)的安装技术是公知的。尽管在许多情况下转接板是由诸如树脂和陶瓷等电介质制成的,但是目前硅转接板受到了关注,该硅转接板通过使用硅基板以及允...
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