技术编号:7147188
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是一种涉及微波工作频段中的滤波器,特别是微屏蔽结构全密封式的层叠微机械滤波器,属于微波电路、微电子和微机械(MEMS )系统交叉。背景技术微波滤波器广泛运用于卫星、通信以及航空、航天等系统中电子系统中选择并传输通带信号,滤除阻带信号。随着现代科技的发展,要求此类电子系统体积小、可靠性高和成本低。然而,一般的滤波器由于自身的局限性难于适应现代通讯系统小型化、集成化和轻量化的要求传统的腔体滤波器体积较大,同时它们不能与信号处理电路单片集成,限制了系统的微...
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