技术编号：7148545
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光电技术，具体涉及出光屏。背景技术目前，半导体紫外光源非常少见，主要是紫外波段半导体材料和器件在制作工艺上存在着很多难以解决的困难。宽禁带半导体材料的P型掺杂非常困难，到了深紫外波段连η型掺杂也变得非常困难；器件的欧姆接触也非常难做，器件效率的降低和寿命的衰减常常是由于糟糕的欧姆接触引起的。用高能电子束泵浦的方法来产生紫外光源可以避免上述的问题。这种泵浦方法用高能电子束轰击宽禁带半导体材料来产生紫外光，不需要对材料掺杂和做欧姆接触。为了充分利用入...
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