温度传感器用铂薄膜电阻芯片的制造方法技术资料下载

技术编号:7148755

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本发明涉及一种电阻器的制造方法,尤其涉及一种薄膜电阻芯片的制造方法。背景技术众所周知,金属钼(Pt)的电阻值在一定温度范围内基本上随温度呈线性变化,且具有很好的再现性和稳定性。利用金属钼的这种物理特性制成的传感器称为钼电阻温度传感器,它具有精度高、稳定性好、适用温度范围广等特点,是中低温区最常用的一种温度检测器。目前,国际上只有为数不多的几家公司掌握钼薄膜电阻芯片制造技术,国内绝大多数厂家只能通过购买钼薄膜电阻芯片组装探头的方式来生产钼电阻温度传感器;因此...
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