技术编号:7149014
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体集成制造生产设备领域,尤其涉及用于半导体集成制造生产线中的连续干燥模块。背景技术由于半导体集成制造的生产过程中需要由多个工艺分步完成,如清洗处理、干燥处理、隔离处理、PVD镀膜等等,且每一工艺步骤均需要在密闭的环境下进行,对此现有技术中通常采用集成密封制造系统,使每一步工艺在同一密闭的环境下进行。在整个半导体集成制造的制造流程中,干燥处理一般在清洗处理之后和隔离处理之间,其任务在于将经清洗处理后的半导体基板含有的液质烘干,便后续进一步的隔离...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。