技术编号：7149265
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及基板处理系统、输送装置及涂敷装置。背景技术例如，在构成半导体基板、液晶面板的玻璃基板、构成硬盘的基板等各种基板上形成抗蚀剂膜等薄膜时，使基板旋转的同时，在该基板上形成涂敷膜的涂敷装置(例如，参照专利文献I)。涂敷装置例如作为涂敷单元,有时搭载于包括基板的送入动作、涂敷动作、送出动作的基板处理系统中。这样的基板处理系统按每个主要动作单元化的情况居多，例如，在上述例子中，有时搭载进行送入动作的基板送入单元、进行送出动作的基板送出单元。在贯穿多个单元之...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。