技术编号:7149465
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及准分子激光器工作温度控制,具体为一种高重频工业用准分子激光器工作温度自调节系统。背景技术准分子激光具有波长短、能量大、光束均匀性好等特性,在工业、科研、医学等领域应用广泛。准分子激光器是通过将高压放电电容的储能转移到激光腔内主放电电极对激光腔内的激光介质气体产生瞬间放电激励,实现激光输出的。这个过程必然会伴随能量的转换,电容转移到激光腔内的能量中一部分在气体放电过程中转换成了热能留在激光腔内,导致腔内温度升高。尤其在工业领域对准分子激光器要求输出...
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