技术编号:7149681
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微电子领域,涉及ー种薄膜转移方法,特别是涉及ー种。背景技术近年来,随着人们对便携式电子器件的技术要求的提高,柔性电子技术的迅速发展而受到广泛关注,成为研究及应用热点。柔性电子技术就是将传统刚性衬底上的薄膜材料以及功能器件转移至柔性衬底,从而到达可弯曲、可拉伸甚至可折叠的技术要求。在柔性技术中,首先将传统刚性衬底上的图形化微型结构,尤其是微米带转移至柔性衬底;其次利用传统的エ艺技术条件利用柔性衬底上的图形化微型结构制作柔性电子 器件。在这ー过程中,...
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