技术编号：7149720
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体材料制备，尤其涉及。背景技术随着集成电路的发展，目前硅(Si)基器件的关键尺寸已经达到理论和技术极限，量子效应已经成为主要机制，传统的基于扩散-漂移理论的Si基器件受到物理和技术双重限制，无法继续承担延续摩尔定律的重任，因此，必须寻找新一代基础半导体材料，发展新的理论和器件模型，以满足集成电路继续发展的需要。石墨烯是一种碳基二维晶体，是目前已知最轻最薄的材料，其厚度仅为原子尺度，具有极其优异的物理化学性质，比如载流子迁移率的理论估计超过20...
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