技术编号:7149725
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种电子元件生产用密封容器。背景技术电子元件生产过程中,需要经过多种处理工艺。有些处理工艺中,需要在密封装置中进行,处理时需要形成密封空间,以便形成负压或增压。如晶圆润湿是在润湿槽内进行,润湿时需要将槽内抽真空形成负压。但现有技术中的生产用容器,密封结构复杂,使用不方便,密封性能差。发明内容本发明的第一个目的是为了克服现有技术中的不足,提供一种可快速实现密封的电子元件生产用密封容器。为实现以上目的,本发明通过以下技术方案实现电子元件生产用密封容器...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。