双层氮化硅减反膜的制作方法技术资料下载

技术编号:7152117

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本实用新型涉及一种双层氮化硅减反膜,属于太阳能电池。背景技术氮化硅减反膜主要作用是减少太阳光的反射,增加对太阳光的吸收,该薄膜还可以增加表面钝化效果,提高少子寿命,使电池转换效率得到很大提高。目前工业化生产中多采用单层氮化硅薄膜作为晶体硅太阳电池的减反膜。这种单层氮化硅膜的制备方法简单,操作容易,但由于太阳光光谱范围较宽,单层膜只能对某一个 波长的光具有很好的反射效果,对整个太阳光波段的反射率仍是很高,造成太阳光的吸收率较低、转换效率较低。发明内容本实用新...
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