技术编号:7153982
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种使用障板(shadow mask)制造晶体管的方法。本发明的另一方面涉及一种包含障板的晶体管。背景技术 传统上,采用光刻法来形成晶体管和电路的图案。但是,出于低成本、大规模应用的考虑,采用光刻法不太好,因为它成本较高。因此,一直以来,人们持续致力于开发低成本的形成图案的技术。人们提出了多种形成图案的技术,用于低成本、大规模应用,包括印刷方法和使用机械障板。但是,它们仍存在问题。已知的机械障板技术一般采用预形成的障板层次系统。每个障板层次必须精...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。