技术编号：7154365
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种制造用于具有场效应晶体管(FET)沟道结构的扫描探针显微镜(SPM)的探针的方法，并尤其涉及制造SPM的探针的方法，以便容易制造纳米器件。背景技术 当今，随着对小型产品，如移动通信终端和电子笔记本的需求不断增加，也增加了对小型且高度集成的非易失记录介质的需求。由于难于减小现有硬盘的尺寸以及高度集成闪存，利用扫描探针的信息存储设备及其方法得到研究。探针可以用在各种SPM技术中，例如，用在扫描隧道显微镜(STM)中，来通过探测由于施加到探针上的电...
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