钽酸锂晶体的制造方法技术资料下载

技术编号:7155278

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本发明涉及一种,该酸锂晶体使用于弹性表面波组件等晶圆上,利用金属电极形成图案而处理电信号的应用中。背景技术 钽酸锂使用于利用弹性表面波(SAW)而进行信号处理的SAW装置等利用电特性的应用中。虽然显示适用于此用途的钽酸锂晶体系归因于其晶体构造,SAW装置所必需的压电反应(压电性),除了压电性之外,一般方法可取得的钽酸锂晶体也产生热电反应(热电性)。钽酸锂晶体的压电性是将钽酸锂晶体作为SAW装置利用时所不可欠缺的特性。另一方面,热电性是通过对钽酸锂晶体施加温...
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