技术编号：7155779
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种基板处理装置，其对液晶显示装置(LCD)用、等离子显示器(PDP) 用、有机发光二极管(OLED)用、场致发射显示器(FED)用、真空荧光显示器(VFD)用、太阳能电池板用等的玻璃基板、磁盘/光盘用的玻璃基板/陶瓷基板、半导体晶片、电子设备基板等各种基板，喷出纯水等清洗液、蚀刻液、显影液、抗蚀剂剥离液等药液等各种处理液，来对基板进行湿处理。背景技术以往，公知有如下的基板处理装置，S卩，一边通过在基板的搬运方向上排列的搬运辊等，在湿处理室内，以...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。