技术编号：7156238
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关于一种半导体制程，特别是有关于一种瓶型渠沟电容器(bottle-shaped trench capacitor)的制程，更特别是一种。背景技术 动态随机存取内存(Dynamic Random Access Memory，以下简称为DRAM)是以记忆胞(memory cell)内电容器的带电荷(charging)状态来储存数据。然而随着DRAM体积的缩小化，深渠沟型(deep trench type)电容器便被广泛地应用在DRAM中。然而，为了要...
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