记录太阳能晶片制程履历的方法及系统的制作方法技术资料下载

技术编号:7157404

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本发明是有关于一种记录太阳能晶片制程履历的方法及系统,特别是针对串列式连续生产线的制程型态。背景技术近年来,由于环保意识的抬头和其它能源逐渐的枯竭,太阳能电池(solar cell)产业逐渐兴起,而如何提高太阳能电池的光电转换效率,也成为现今研究的焦点。如果能在电池晶片制程中应用先进制程控制(APC)系统,也有利于提高太阳能电池晶片的良率。在传统半导体集成电路的制程型态,如图I所示,每次只将一片晶圆10由晶圆盒I中抽出,再放入腔体11,以在晶圆10上制作元...
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