技术编号：7158019
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及包括氧化膜的电子器件，电子器件的制造方法以及用于制造氧化膜的溅射靶。注意，本说明书中的电子器件是指利用电性质的任何器件，并且可通过利用半导体特性起作用的半导体器件被包括在电子器件的范畴中。另外，甚至当器件不利用半导体特性时利用电性质(例如，电容器、线圈、或各种电子管)的器件被包括在电子器件的范畴中。因此，光电器件、半导体电路和电子电器都被包括在电子器件中。背景技术氧化物包括具有各种性质的氧化物，诸如导电氧化物、半导电氧化物和绝缘氧化物，并且根据它...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。