技术编号:7158275
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及ー种生物芯片,特别涉及ー种与CMOSエ艺兼容的硅纳米线器件的制作方法。背景技术近年来,伴随着人们对纳米的不断探索和研究,具有ー维纳米结构的材料,如娃纳米线(SiNW, Silicon Nanowire),吸引了越来越多人的眼球。娃纳米线具有显著的量子效应、超大面容比等特性,在MOS器件、传感器等领域有着良好的应用前景。硅纳米线器件,作为ー种生物芯片基本単元,正被越来越广泛地应用于生物探測领域。Kuan-I Chen等人在今日纳米杂志(Nano T...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。