技术编号：7158648
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种。 背景技术对于CVD装置等将玻璃基板在高温下进行处理的装置，有时玻璃基板由于热等而破裂。在玻璃基板的输入输出时，在腔室内保持玻璃基板的端部而抬起玻璃基板，使输送装置的拾取器进入到被抬起的玻璃基板的下方。玻璃基板破裂时，因为只抬起玻璃基板的一侧，所以破裂了的玻璃基板会堵住拾取器的进入路径。因此，拾取器的顶端与玻璃基板碰撞，破裂的玻璃基板零碎散开，碎片散播到腔室内。为了将破裂的玻璃基板、碎片从腔室内清除并使装置复原，需要很多时间。在此期间，生产...
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