技术编号：7158929
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种生物芯片，特别涉及一种与CMOS工艺兼容的硅纳米线器件及其制作方法。背景技术近年来，伴随着人们对纳米的不断探索和研究，具有一维纳米结构的材料，如硅纳米线(SiNW，Silicon Nanowire)，吸引了越来越多人的眼球。硅纳米线具有显著的量子效应、超大面容比等特性，在MOS器件、传感器等领域有着良好的应用前景。硅纳米线器件，作为一种生物芯片基本单元，正被越来越广泛地应用于生物探测领域。Kuan-IChen等人在今日纳米杂志(Nano To...
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