在半导体基板上形成凹陷阵列元件结构的方法技术资料下载

技术编号:7158946

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本发明涉及ー种,且特别涉及ー种利用金属间隙壁以。背景技术由于结构简单,动态随机存储器(Dynamic Random Access Memories, DRAM)在单位晶片面积内可提供的存储单元数量高于其它种类的存储体,例如静态随机存取存储器(Static Random Access Memories, SRAM)。DRAM由多个存储单兀构成,姆个存储单兀包含ー个电容器及一晶体管,电容器用以储存数据,晶体管则耦合于电容器,用以控制/管理电容器的充电/放电。在...
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