技术编号：7159607
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明通常涉及用于在检查薄膜或带状型基底中使用的自动检查.装置中夹紧薄膜的薄膜夹紧装置，更具体地说，涉及能夹紧薄膜同时保持需要的薄膜平面度以及薄膜上需要的光学聚焦而不损坏薄膜的薄膜夹紧装置，从而在自动薄膜检查过程中将由聚焦误差引起的检查误差最小化。背景技术 近年来，薄膜或带状型基底(以下简称为“薄膜”)普遍地并且更适合用作各种半导体ICs(集成电路)，如用于LCD驱动器或存储器的ICs的重要元件。根据最近这类薄膜的图案宽度和厚度减小的趋势，薄膜很容易弯曲或...
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