技术编号:7160009
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,本发明应用在有机发光显示、液晶显示、电子纸显示等领域,也可以用于集成电路领域。背景技术近年来,在平板显示尤其是在有机电致发光显示(OLED)领域,基于氧化物半导体的薄膜晶体管(TFT)越来越受到重视。目前用在平板显示的TFT的半导体沟道层的材料主要是硅材料,包括非晶硅(a_SiH)、多晶硅、微晶硅等。然而非晶硅TFT具有对光敏感、迁移率低(< lcm7Vs)和稳定性差等缺点;多晶硅TFT虽然具有较高的迁移率,但是由于晶界的影响导致其电学均...
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