技术编号：7160615
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及集成电路制造设备领域，特别是涉及一种激光调阻机光点定位及扫描控制装置。背景技术激光调阻，是一种修调电阻阻值的工艺。其原理是当高功率激光光束撞击厚膜或薄膜电阻材料表面时，光束撞击处的电阻材料介质气化，使电阻阻值升高。激光调阻机就是利用此原理，对电阻进行修调，得到符合阻值精度要求的电阻的装置。现有技术中，激光调阻机在使用时，都是将PC机作为激光调阻机主机。PC主机上安装有激光调阻机的光点定位及扫描控制驱动程序及硬件控制电路。PC主机通过软件程序及硬件...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。