技术编号：7160663
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于紫外探测器的，特别涉及一种AlGaN基MSM(金属-半导体-金属) 结构的日盲型紫外探测器及其制备方法。背景技术紫外探测技术在军事和民用方面均有很高的应用价值。在军事上，紫外探测技术可用于导弹制导、导弹预警、紫外通讯和生化分析等领域；在民用领域中，可用于火焰探测、 生物医药分析、臭氧检测、紫外树脂固化、燃烧工程、紫外水净化处理、太阳照度检测、公安侦察、紫外天文学等非常广泛的领域。GaN三元合金系AlGaN随Al组分的变化，禁带宽度可以从GaN的...
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