并联两坐标运动平台的制作方法技术资料下载

技术编号:7161184

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本发明涉及一种两个平面运动的平台,特别是指一种并联两坐标运动平台。背景技术 在芯片封装过程中,金丝球焊接是一种主要的连接方式。此时,为了提高效率,要求打线器作高频的小行程的移动。由于行程小、运行时间短,因此运送加速度一般很大,而且要求保证很高的运动精度。在微电子器件装配过程中,为了保证元件工作可靠性,原则上应该对每个球栅格(BGA,Ball Grid Array)中锡球的位置和形状进行测定,以便对不良锡球必须加以修整。目前,由于检测设备的缺乏,主要采用的是...
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