技术编号:7161410
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,更具体地说,涉及可以利用相对小数目的掩蔽操作制造并可以解决电容器中的粗糙掺杂的。背景技术有机发光显示设备在制造在形成有薄膜晶体管(TFT)、电容器和将薄膜晶体管和电容器彼此连接的布线的基板上。一般来说,为了形成具有TFT的精细结构图案,这种精细图案通过利用包括精细图案的掩膜被传递到用于制造有机发光显示设备的基板。一般来说,光刻操作被执行以通过利用掩膜来传递图案。在光刻操作中,光刻胶被均勻施加到基板上,光刻胶通过利用曝光器(例如,步进器)而曝光,...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。