技术编号：7161465
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及使用喷射到部件上的液体的单个半导体或电子部件的清洗。清洗和干燥单个基板的一种方法是利用压水喷嘴和鼓风机，其中单个基板是安装在把持底夹盘上并且覆盖着多孔材料。然而，像压力漂洗喷嘴清洗在湿度控制上带来困难，因而在单个基板的干燥时间上导致额外消耗并能损坏设备的电路。此外，还需要使用复杂的设计，以及制造用于在实行漂洗的压力反应室中把持基板的工具。另一种方法是使用超声波槽，其中单个基板固定在底夹盘结构上、被覆盖着并且浸入在超声波清洗液中。然而，所述超声波槽...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。