具有树脂部件作为加固件的焊料球的形成的制作方法技术资料下载

技术编号:7162683

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本发明总体涉及半导体芯片、焊料球以及组件结构的形成方法。背景技术 对于半导体芯片面朝下安装在电路板上的倒装芯片组件,底填技术通常已知为将树脂材料填充在半导体芯片和电路板之间(例如,参见专利文献1)。当大尺寸的无铅焊料球形成在半导体芯片上时,可以使用光敏干膜抗蚀剂(例如,见非专利文献1)。此外,还使用抗蚀剂掩模形成大规模无铅焊料球的技术(例如,参见非专利文献2)。专利文献1日本专利申请公开No.9-172035非专利文献1URLFujitsu Co.,Ltd...
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