技术编号:7163840
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是肖特基二极管及其制造方法,尤其涉及的是提高反向阻断特性的肖特基二极管及其制造方法。背景技术肖特基二极管是一种大电流、超高速、低功耗整流型半导体器件,是高频、低压、大电流整流、续流和开关保护的理想器件,功率电子器件逐步向高频发展也推动了肖特基二极管技术在降低功耗和提高效率等方面的技术发展。它是利用金属与半导体接触面的表面势垒产生整流特性的金属_半导体结原理制作而成的半导体器件,与PN结半导体器件不同的是肖特基二极管相对于以少数载流子导电的PN结...
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