技术编号：7164175
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及太阳能电池，具体涉及ー种用于太阳能电池硅片的磷扩散控制方法。背景技术太阳能电池，也称光伏电池，是ー种将太阳的光能直接转化为电能的半导体器件。由于它是緑色环保产品，不会引起环境污染，而且是可再生资源，所以在当今能源短缺的情形下，太阳能电池是ー种有广阔发展前途的新型能源。其中，制造太阳能电池的核心エ艺是通过磷扩散在硅片上形成发射极，即PN结，而传统扩散エ艺的流程为装硅片进炉一氮气氛中升温一稳定温度一氮气携帯P0CL3+02于加工炉内进行扩散反应一降温...
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