技术编号:7164503
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及声波换能器,尤其涉及一种用于湿法腐蚀及清洗工艺的兆声波换能装置。背景技术随着集成电路特征尺寸进入到深亚微米阶段,集成电路晶片制造工艺中的湿法腐蚀及清洗对腐蚀精度的要求越来越高,对清洗颗粒的要求越来越小,因此腐蚀及清洗的均勻性成为一个具有挑战性的问题。采用兆声波进行化学腐蚀和清洗有助于加速腐蚀和清洗,极大的提高了污染颗粒的去除效率。但是由于兆声波声场存在干涉现象,在晶片上会形成很多声场强度很高的热点,同时也形成很多声场强度很低的死点,使晶片上声场强...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。