技术编号:7165000
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及。 背景技术近年来,取代HDD硬盘的Solid State Davie (SSD)电脑的诞生标志着Flash memory的应用进入了一个新的阶段,将成为推动半导体产业发展的新驱动力。同时,随着市场的日益扩大,要求flash memory具有更高的集成度和更高的性能。这些要求可以通过 memory器件单元的微细化来实现。但是,具有多晶硅浮栅结构的传统flash memory的微细化却面临着严峻的挑战。首先,flash memory的微细化大大降低...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。