技术编号：7165524
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体技术，特别涉及一种。 背景技术薄膜晶体管的应用范围广，如可以应用在显示装置的开关器件和驱动器件。在薄膜晶体管中，其电学性能和沟道层的材料和形态有密切的关系。在商业生产的液晶显示装置中，薄膜晶体管(Thin Film Transistor，TFT)沟道层主要为非晶硅层，其迁移率较低，约为0. 5cm2/Vs的电荷迁移率，因此其应用于大屏幕、高频驱动显示器件上有较大限制。近年来，人们已经对使用氧化物半导体材料层作为TFT的沟道层进行了研究，如在...
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