技术编号：7165666
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体制造装备，主要涉及一种基于转台齿轮同步调向的双工件台回转交换方法与装置。背景技术光刻机是极大规模集成电路制造中重要的超精密装备之一。在目前普遍应用的步进扫描投影式光刻机中，工件台技术是光刻机的核心技术之一。工件台的主要作用是承载硅片实现高速和高加速度条件下的纳米精度定位，配合光刻过程中的上片、预对准、对准、 曝光和下片等加工制造工序。光刻机工件台技术对于提高光刻机分辨率、套刻精度、产率光刻机三大性能指标至关重要。产率是光刻机发展的主要追求目...
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