技术编号：7165733
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。薄膜太阳能电池的制法本发明关于一种薄膜太阳能电池的制法，尤指一种具有反光背电极层的薄膜太阳能电池的制法。背景技术现有的薄膜太阳能电池制程，如图1A至图1G所示，通过在玻璃基板10的背光面 101上以真空溅镀技术镀上一层例如为TCO薄膜的第一电极层11，再利用激光图案化技术于第一电极层11上进行图案化，以使部份背光面101外露于所形成的图案化开孔中。于第一电极层11进行图案化制程的步骤完成后，通过于第一电极层11及外露于图案化开孔中的部份的背光面101上以真...
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