技术编号:7166041
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制造领域,尤其是一种半导体制程中的偏移管理的良率提升系统。背景技术半导体集成电路的制作过程涉及数百个工艺步骤且时间长达数十天,在这个漫长的过程中,工艺环境和设备每秒都在发生微观变化,每个晶圆自然无法获得完全相同的对待。因此,在所有程序完成后或者工艺进行中对每个晶圆进行归类是半导体集成工艺的关键问题之一。传统的半导体工厂在晶圆下线后进行电气性能测试以筛选出那些不符合规格的晶圆,但是电气性能测试通常只挑选晶圆上的部分位置进行,并不能涵盖晶圆上的...
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