技术编号:7166336
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。搭桥晶粒多晶娃薄膜晶体管的制造方法本发明总的涉及多晶粒薄膜晶体管(TFT),更具体地,涉及一种没有源漏极掺杂处理的搭桥晶粒结构的多晶硅薄膜晶体管的制造方法。背景技术为实现多晶硅TFT有源矩阵显示器面板的工业化制造,需要很高质的多晶硅膜。它需要满足以下要求低温加工、可以在大面积玻璃衬上实现、低制造成本、稳定的制造工艺、高性能、一致的特性、以及晶硅TFT的高可靠性。高温多晶硅技术可以用来实现高性能TFT,但是它不能用于商业显示器面板中使用的普通玻璃衬底。在这样...
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