技术编号:7166669
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及固态摄像器件的通过成膜过程形成光电转换部的制造方法、通过该方法获得的固态摄像器件以及具有该固态摄像器件的电子装置。背景技术在具有多个依次布置的光电转换部的固态摄像器件中,存在具有层叠结构的固态摄像器件,以便增强光接收灵敏度并提高像素的密度,在该层叠结构中,光电转换部设置在驱动电路的上方。对于此类固态摄像器件的制造方法,目前提出了下述层叠方法。首先,将杂质引入由硅基板构成的第一基板的表面,以形成光接收元件。接下来, 在第一基板的背面侧形成到达光接收...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。