技术编号:7167128
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及集成电路制造工艺,尤其涉及一种手持式免充电吸笔。 背景技术伴随集成电路制造工艺的不断进步,半导体制造自动化程度越来越高,这使得绝大多数情况下硅片传输都是由机台自动进行的。但是,对于一些小型的没有自动化生产线的公司以及一些高校和研究所的实验室里经常需要人为手动传输硅片。即便是自动化程度高的大型公司,需要人为手动传输和处理硅片的状况也时有发生,一种情形是在进行一些特殊工艺时,为了沾污控制,防止交叉污染,不能使用公用机台进行硅片传输,只能使用手动方式来...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。