技术编号:7168552
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种器件的制造方法,包括步骤提供被一层辐射敏感材料至少部分覆盖的一衬底;使用一辐射系统来提供投射束;使用图案化装置来使投射束在其横截面内具有一图案;将形成图案的投射束投射在辐射敏感材料层的第一靶区和第二靶区上,所述第一和第二靶区沿一边缘邻接。背景技术 此处使用的术语“图案化装置”应当被广义地理解为涉及能够给入射辐射束赋予带图案的截面的装置,其中所述图案与要在衬底靶区上形成的图案对应;术语“光阀”也用于本文中。通常,所述图案与在靶区中形成的器件的特...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。