技术编号:7169249
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体器件领域,涉及一种新型正对电极结构及其制造方法。此外,本发明还涉及包含该新型正对电极结构的SiC光导开关及其制造方法。背景技术光导开关全称为光控光导半导体开关(Optically Controlled PhotoconductiveSemiconductor switches-PCSS)是一种超快脉冲激光器与光电导体(如GaAs, InP, SiC等)相结合形成的一种新型开关器件。它的工作原理是利用超短激光脉冲在半导体材料中产生电子-空穴对...
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